Tyndfilmaflejring - IC6

GØR EKSKELLENCE GENNEMFØRLIG Funktionsrig IC6 giver den bedste målepræcision muligt IC6 Thin Film Deposition Controller giver enestående værdi ved at kombinere den dokumenterede ydeevne fra INFICON tyndfilmcontrollere med unikke funktioner, der alle er designet til, at du kan få det bedste ud af din afsætningsproces. IC6 bruger vores ModeLock frekvensmålesystem til at give stabil, højopløsningsrate og tykkelsesmåling med en brancheførende rateresolution på 0,00433 Å/s hver 1/10 sekund. Ingen anden kvarts krystalcontroller har den ydeevne, kvalitet og de funktioner, som IC6 har, hvilket gør det muligt for dig at gøre excellence gentagelig. 1 Å for 0 til 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 til 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 til 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 til 9999 kÅ 0.001 for 0 til 9.999 Å/s hvis raterfiltertidsindstillingen er 10 sekunder eller mere 0.01 for 0 til 99.99 Å/s 0.1 for 100 til 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Værktøjs-/densitet = 100/1, grundfrekvens = 6 MHz (2)... Frekvensopløsning: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Tykkelses- og rateresolution/måling (1): ±0.00433 Å Målefrekvensområde: 6.0 til 4.5 MHz (fast) Tykkelsesnøjagtighed (2): 0.5% Måleinterval: 0.10 s Flere måle-gennemsnit: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, og 30.0 sek. gennemsnit tilladt Auto Z: ja Autotone: ja Co-afsætning: ja (op til 6 kilder) Materialeprogrammer: 32 Proceslag (pr. proces): 200 Processer: 50 (processer kan forbindes) USB-hukommelse: ja Dataregistrering: ja Dual / CrystalTwo®: 4 / 8 (med CrystalTwo ® Switch) Antal kilder (4): op til 6 Kildekontrolspændinger: 0 til +/-10 V, justerbar Udgangsopløsning: 15 bit over hele området (0 til 10V) Krucible-positioner: 64 Indgange: 14 standard, op til 28 valgfri; TTL/CMOS logik kompatibel eller lukning til jord Udgange: 8 standard, op til 24 valgfri programmerbare SPST relæer vurderet til 30 V(dc) eller 30 V(ac) RMS eller 42 V peak Optagerudgang (4): 0 til +10 V, justerbar Logiske udsagn: 100 fuldt programmerbare; op til 5 handlinger, 5 begivenheder pr. udsagn Standard: RS232 Valgfri: Ethernet Tykkelsesopløsning: 1 Å for 0 til 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 til 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 til 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 til 9999 k Rateresolution: 0.001 for 0 til 9.999 Å/s hvis raterfiltertidsindstillingen er 10 sekunder eller mere 0.01 for 0 til 99.99 Å/ Strømkrav: 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Driftstemperatur: 0 til 50 C (32 til 122 F) Dimensioner, eksklusive monteringer (h x b x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Vægt: 23 lbs (10.5 kg)