RF Sensor Teknologi

RF-sensor med FabGuard giver realtidsanalyse af plasma-processer for betydeligt at reducere procesvariabilitet INFICON RF-sensorteknologi leverer meget præcise, bredbåndede, frekvensdiskriminerende RF-målinger til halvlederbehandlingsværktøjer. Disse RF-data giver detaljeret indsigt i de faktiske plasmaforhold ved både procesudvikling og produktionsproblemer for betydeligt at reducere procesvariabilitet. Det nyeste i sin suite af avancerede proceskontrol in situ-sensorer, denne ikke-intrusive inline kabelmonterede RF-sensor kombineres med FabGuard Sensor Integration and Analysis System for at tilbyde kritisk diagnostisk information, f.eks. præcise målinger af kammer- og proceskraft samt impedans, årsagsanalyse af fejl (såsom problemer med tilpasningsnetværk), procesfingeraftryk til kammertilpasning og wafermetrologimodellering i PVD, CVD og ætsningsapplikationer. INFICON RF-sensorteknologi med FabGuard genererer meget præcise modeller, der forudsiger wafermetrologi...