Tyndfilmaflejring - Cygnus 2

Den bedste målepræcision muligt for OLED-applikationer Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller giver enestående værdi ved at kombinere den dokumenterede ydeevne fra INFICON tyndfilmcontrollere med unikke funktioner, der alle er designet til, at du kan få det bedste ud af din OLED-proces. Cygnus 2 bruger vores ModeLock frekvensmålesystem til at give stabil, højopløselig hastigheds- og tykkelsesmåling med en brancheførende hastighedsopløsning på .00433 Å/s hver 1/10 sekund. Ingen anden kvarts krystalcontroller har den ydeevne, kvalitet og de funktioner, som Cygnus 2 har, hvilket gør det muligt for dig at gøre fremragende resultater gentagelige. 1 Å for 0 til 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 til 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 til 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 til 9999 kÅ 0.001 for 0 til 9.999 Å/s 0.01 for 0 til 99.99 Å/s 0.1 for 100 til 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Værktøjs-/densitet = 100/1, grundfrekvens = 6 MHz (2) Varierer afhængigt af proces; tal afspejler typisk nøjagtighed (3) Maksimal konfiguration af... Frekvensopløsning:±0.0035 Hz @ 6 MHz Tykkelses- og hastighedsopløsning/måling (1):±0.00433 Å Målefrekvensområde:6.0 til 4.5 MHz (fast) Tykkelsesnøjagtighed (2):0.5% Måleinterval:0.10 s Flere måle-gennemsnit:0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, og 30.0 sek. gennemsnit tilladt Flere sensor måling:ja (op til 6 sensorer) Auto Z:ja Co-aflejring:ja (op til 6 sensorer) Materialeprogrammer:6 uafhængige materialer USB-hukommelse:ja Dataregistrering:ja Dual w/CrystalTwo®:6 (med én CrystalTwo Switch pr. sensorindgang) Antal kilder (4):op til 6 Kildekontrolspændinger:0 til +/-10 V, justerbar Udsignalopløsning:15 bit over hele området (0 til 10V) Krucible positioner:64 Indgange:14 standard, op til 28 valgfri; TTL/CMOS logik kompatibel eller lukning til jord Udsignaler:8 standard, op til 24 valgfri programmerbare SPST relæer vurderet til 30 V(dc) eller 30 V(ac) RMS eller 42 V peak Optagerudgang (4):0 til +10 V, justerbar Logiske udsagn:100 fuldt programmerbare; op til 5 handlinger, 5 begivenheder pr. udsagn Standard:RS232 Valgfri:Ethernet Tykkelsesopløsning:1 Å for 0 til 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 til 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 til 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 til 9999 k Hastighedsopløsning:0.001 for 0 til 9.999 Å/s 0.01 for 0 til 99.99 Å/s 0.1 for 100 til 999.9 Å/s Strømkrav:100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Driftstemperatur:0 til 50 C (32 til 122 F) Dimensioner, eksklusive monteringer (h x b x d):5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Vægt:13 lbs (5.9 kg)