kontaktløs wafer manipulation

...Wafers håndteringsmodulsystemet letter alle processer for håndtering af wafers. Indlæsning og udlæsning, transport, greb, inspektion, sortering og adskillelse kan udføres af et enkelt system. Ved hjælp af ultralydsteknologi opretholder waferen en afstand i hele det modulære system. Dette forhindrer mikridser og kontaminering. Funktioner ved Wafers Håndteringsmodulsystem: - Modulær design - Kontaktløs transport - Tilpasselig efter kundens specifikationer - Sammenkædning af flere processer i det samme system...