Restgasanalysatorer (RGA) og Massespektrometre - 100 AMU CPM

HURTIGT, FELT-KLAR PROCESSOVERVÅGNINGSSYSTEM Ydelse, Pålidelighed og Alsidighed INFICON Transpector CPM har været det markedsledende Residual Gas Analyzer (RGA) processovervågningssystem i halvlederindustrien i over et årti. Nu giver Transpector CPM 3 brancheførende målehastighed og følsomhed gennem et feltprøvet pumpesystem og indløb integreret med en ny sensor og elektronik. Transpector CPM 3 er den ideelle RGA processmonitor for nye og etablerede halvlederprocesser såsom ALD, CVD, PVD og Ætsning. Transpector CPM 3 giver dokumenteret afkast på investering til vores partnere gennem: 1 Ionkilde trykmåling @ lav emission ved brug af total tryklinse 2 Total tryk nøjagtighed @ lav emission 3 Maksimal ionkilde driftstryk @ lav emission 4 2x10 -4 Torr i ionkilden vil producere ca. 1x10 -5 Torr i kvadrupolområdet 5 MDPP ved ionkilden med EM tændt og 1s opholdstid 6 Masse 40 bidrag til 41 AMU 7 Zero blast... Opløsning: 1 amu bred @ 10% top højde Total trykområde¹: 5E-7 - 1E-3 Torr Total tryknøjagtighed²: +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr Maksimal ionkilde driftstryk³: 1E-3 Torr Nominelt driftstryk⁴: 2E-4 Torr System driftstryk: 1E-8 Torr - 1.2 atm Følsomhed (Lav Emission): > 4E-6 Amps/Torr Følsomhed (Høj Emission): > 2E-5 Amps/Torr Minimum Detekterbar Partialtryk⁵: 1E-13 Torr Maksimal Datahastighed: 1.8 ms/point (555 points/sec) Overflod Følsomhed⁶: < 5 ppm Zero Blast⁷: < 2 ppm Detektionsgrænse⁸: < 1 ppm Linearitet⁹: +/- 20% Minimum Baggrundstryk: 1E-8 Torr Maksimal Sensor- og Indløbstemperatur: 150