FabGuard® Software
Fabwide, Proces Specifik
FabGuard FDC kombinerer online Fejldetektion og Klassifikation (FDC) med kraftfulde værktøjer til fab-ingeniører, så de nemt kan analysere næsten enhver aspekt af proces- og udstyrsadfærd. Intet andet system tilbyder større kapacitet til at beskytte mod wafer-tab, reducere uplanlagt værktøjsnedetid og forbedre udbyttet.
Uanset waferstørrelse eller produktgeometri er rettidig information nøglen til fab-produktivitet og konkurrenceevne. Det stigende pres for at reducere omkostninger gør det kritisk at maksimere fab-produktiviteten, reducere antallet af skrottede wafere og maksimere udstyrsudnyttelsen. FabGuard imødekommer udfordringerne i nutidens halvlederproduktion ved at kombinere den kollektive erfaring fra statistikere og ingeniører, der har til opgave at opretholde banebrydende fab-produktivitet. FabGuard FDC er bygget på princippet om, at viden om processer og udstyr er afgørende for glatte fab-operationer.
Omdefinering af FDC - FabGuard Detektion og...