Kompakt mikropositionerer til open og closed-loop drift med 8, 18 eller 30 mm justeringsområde
Mikropositionerer MS30 med 8, 18 eller 30 mm justeringsområde til open eller closed-loop applikationer.
Tilgængelig i følgende versioner: Standard, højvakuum op til 10^-6 eller ultrahøjvakuum op til 10^-9 mbar.
Vægt (open loop): 32 g, 38 g eller 54 g
Trinlængde open loop (med CF30 controller): ca. 10 nm
Gentagelsesnøjagtighed closed loop: op til 50 nm