Restgasanalysatorer (RGA) og Massespektrometre

OVERVÅG OG KONTROLLER RAPIDE PROCESSSKIFTER Den nye Transpector XPR 3+ Restgasanalysator (RGA) tilbyder brancheførende målehastigheder til at overvåge og kontrollere de hurtige procesændringer, der kræves for moderne halvleder- og displayskabelse. Transpector XPR 3+ er ideel til in-situ luftlækage, gasrenshed, kulbrinte- og forureningsovervågning. Måling i realtid med Transpector XPR 3+ giver en langt bedre produktbeskyttelse sammenlignet med periodiske stigningstest. DRIVE LØNSOMHED VED AT MAKSIMERE VÆRKTØJETS OPERATIONSTID Transpector XPR 3+ RGA er en feltprøvet kvadrupel- og dual-ionkilde sensor til applikationer inden for sputteringstryk. Der kræves ikke trykoverførselsudstyr, langtidsholdbare komponenter og evnen til hurtigt at opdage og diagnosticere problemer kombineres for at maksimere værktøjets tilgængelighed, produktgennemstrømning og udbytte. Sensoren kan betjenes kontinuerligt fra højt vakuum til 20 mTorr uden behov for pumper. Transpector XPR 3+ dual ion...