Clusteranlæg
ClusteranlægClusteranlæg

Clusteranlæg

AURION tilbyder flerkammeranlæg skræddersyet til dine krav med substrathåndtering under vakuum. De tilgængelige konfigurationer omfatter låsekamre, transferkamre og procesmoduler til sputter- og RIE-processer.
Lignende produkter
1/8
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakte systemer, minimal plads - Høje plasmadensiteter for korte processtider - Optimeret homogenitet gennem plasma-array med 2-dimensionelt gasindt...
DE-63500 Seligenstadt
Sputtersystemer (Sputtering)
Sputtersystemer (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
Inline-systemer
Inline-systemer
AURION tilbyder skræddersyede flerkammeranlæg med substrattransport under vakuum, der er specielt tilpasset dine krav. De tilgængelige konfiguratione...
DE-63500 Seligenstadt
Plasmaanlæg
Plasmaanlæg
Komplette systemer til behandling og belægning af overflader ved hjælp af plasmaprocesser Aktivering, rengøring og ætse med atmosfærisk trykplasma, r...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 gasflow-controllere med en flowhastighed på op til 500 sccm pr. controller, nettilslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolumen: 30 l, dimensione...
DE-63500 Seligenstadt
HF-systemer til Partikelacceleratorer (ACCELOS-SERIE)
HF-systemer til Partikelacceleratorer (ACCELOS-SERIE)
Strålemanipulation i partikelacceleratorer (f.eks. bunke-kompression), fuldt integrerede systemer bestående af hulrum med, strålerør og HF-forstærker.
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS-konceptet: Plasmasystemer
KIVOS-konceptet: Plasmasystemer
KIVOS er et meget fleksibelt, modulært koncept for plasmasystemer. Disse systemer kan anvendes inden for en række forskellige områder, såsom finrengø...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
Vakuumbeholdere i enten aluminium eller rustfrit stål, vakuumpumper i korrosions- og gasbestandig udførelse inkl. olie- og tågeskille med oliegenvindi...
DE-63500 Seligenstadt