AURION tilbyder flerkammeranlæg skræddersyet til dine krav med substrathåndtering under vakuum.
De tilgængelige konfigurationer omfatter låsekamre, transferkamre og procesmoduler til sputter- og RIE-processer.
Kompakte systemer, minimal plads - Høje plasmadensiteter for korte processtider - Optimeret homogenitet gennem plasma-array med 2-dimensionelt gasindt...
AURION tilbyder skræddersyede flerkammeranlæg med substrattransport under vakuum, der er specielt tilpasset dine krav.
De tilgængelige konfiguratione...
Komplette systemer til behandling og belægning af overflader ved hjælp af plasmaprocesser
Aktivering, rengøring og ætse med atmosfærisk trykplasma, r...
Max. 4 gasflow-controllere med en flowhastighed på op til 500 sccm pr. controller, nettilslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolumen: 30 l, dimensione...
KIVOS er et meget fleksibelt, modulært koncept for plasmasystemer.
Disse systemer kan anvendes inden for en række forskellige områder, såsom finrengø...
Vakuumbeholdere i enten aluminium eller rustfrit stål, vakuumpumper i korrosions- og gasbestandig udførelse inkl. olie- og tågeskille med oliegenvindi...
Kompakte systemer, minimal plads - Høje plasmadensiteter for korte processtider - Optimeret homogenitet gennem plasma-array med 2-dimensionelt gasindt...
AURION tilbyder skræddersyede flerkammeranlæg med substrattransport under vakuum, der er specielt tilpasset dine krav.
De tilgængelige konfiguratione...
Komplette systemer til behandling og belægning af overflader ved hjælp af plasmaprocesser
Aktivering, rengøring og ætse med atmosfærisk trykplasma, r...
Max. 4 gasflow-controllere med en flowhastighed på op til 500 sccm pr. controller, nettilslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolumen: 30 l, dimensione...
KIVOS er et meget fleksibelt, modulært koncept for plasmasystemer.
Disse systemer kan anvendes inden for en række forskellige områder, såsom finrengø...
Vakuumbeholdere i enten aluminium eller rustfrit stål, vakuumpumper i korrosions- og gasbestandig udførelse inkl. olie- og tågeskille med oliegenvindi...